Etch Characteristics of TiN Thin Films in the Inductively Coupled Plasma System

نویسندگان
چکیده

برای دانلود رایگان متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Dry etching of Co2MnSi magnetic thin films using a CH3OH/Ar based inductively coupled plasma

The inductively coupled plasma etching characteristics of Co2MnSi thin films patterned using a TiN hard mask were investigated by the addition of CH3OH to Ar gas. As the CH3OH concentration increased, the etch rates of Co2MnSi magnetic thin films and TiN hard mask decreased, but the etch profile improved. The effects of rf power, dc-bias voltage and gas pressure on the etch rate and etch profil...

متن کامل

the analysis of the role of the speech acts theory in translating and dubbing hollywood films

از محوری ترین اثراتی که یک فیلم سینمایی ایجاد می کند دیالوگ هایی است که هنرپیش گان فیلم میگویند. به زعم یک فیلم ساز, یک شیوه متأثر نمودن مخاطب از اثر منظوره نیروی گفتارهای گوینده, مثل نیروی عاطفی, ترس آور, غم انگیز, هیجان انگیز و غیره, است. این مطالعه به بررسی این مسأله مبادرت کرده است که آیا نیروی فراگفتاری هنرپیش گان به مثابه ی اعمال گفتاری در پنج فیلم هالیوودی در نسخه های دوبله شده باز تولید...

15 صفحه اول

Determination of Tin in Canned Foods by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry

Most foods contain very low concentrations of tin, usually below 10 mg/kg, although canned foods may contain higher concentrations as a result of the slow dissolution of the tin coating used on the inside of some food cans to protect the steel body of the can from corrosion. An inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) method following microwave digestion was developed and evaluated...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of the Korean institute of surface engineering

سال: 2008

ISSN: 1225-8024

DOI: 10.5695/jkise.2008.41.3.083